結(jié)構(gòu)穩(wěn)固一鍵操作

用于12吋半導(dǎo)體級(jí)晶體生長(zhǎng)

產(chǎn)品特點(diǎn)

結(jié)構(gòu)穩(wěn)固

設(shè)備結(jié)構(gòu)采用有限元分析設(shè)計(jì)，安全性更高的同時(shí)運(yùn)行穩(wěn)定性和重復(fù)性極佳。

腔室潔凈

腔室采用316L不銹鋼材料，360°鏡面拋光，潔凈易清理保證高純長(zhǎng)晶環(huán)境。

控制精確

采用先進(jìn)的控制算法和視覺算法，有效直徑控制范圍可達(dá)目標(biāo)直徑±0.05mm。

一鍵操作

一鍵長(zhǎng)晶級(jí)的軟硬件控制邏輯，精準(zhǔn)的防護(hù)監(jiān)控預(yù)警系統(tǒng)支撐設(shè)備持續(xù)高效穩(wěn)定運(yùn)行。

磁場(chǎng)兼容

軟硬件預(yù)留接口均可兼容國(guó)內(nèi)外先進(jìn)的超導(dǎo)水平磁。憧突Ф嘌拇懦∨涮仔棖。

壓力精準(zhǔn)

高精度蝶閥和質(zhì)量流量計(jì)配合主動(dòng)自清潔尾氣過濾系統(tǒng)，爐室壓力可控范圍更大更精準(zhǔn)。

加熱器可調(diào)

配備加熱器升降機(jī)構(gòu)，為工藝窗口調(diào)整提供更多可能(選配)。

型號(hào)	KX360MCZ
爐室內(nèi)徑	Φ1400mm
副室高度	3500-5000mm（可定制）
副室直徑	Φ400mm
應(yīng)用領(lǐng)域	半導(dǎo)體300mm COP free晶體生產(chǎn)制造
最大晶體直徑	12 英寸
熱場(chǎng)尺寸	Min~32inch-Max~36inch
磁場(chǎng)類型	標(biāo)配水平超導(dǎo)磁。淥嘈涂篩菘突б笈涮