03-01
連續加料直拉單晶爐 CCz
主要技術指標
1、整機尺寸:(LWH)2000X2300X10800m;
2、主腔室內徑1400mm,副爐室內徑350mm;兼容24~34英寸RCz和32~34英寸CCz熱場,可拉制10英寸以下直徑的晶體;
3、加熱方式:電阻加熱,DC電源Pmax=150:50Kw,頻率50Hz;
4、裝料方式:主爐室側向連續外部加料裝置(容量1200kg)+動態在線硅料補充裝置+石英坩堝內預裝;加料速度可在20g-600g/min范圍內線性調控,控制精度≤500g/Hours。
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