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產(chǎn)品與服務(wù)
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高線速切割 超高精度
用于碳化硅晶體加工截斷環(huán)節(jié)
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產(chǎn)品特點
高線速切割
設(shè)備可以使用30m/s的高線速度穩(wěn)定切割,切割效率高,產(chǎn)出比高。
多種加工方式
設(shè)備可以自行選擇旋轉(zhuǎn)、線搖擺和料搖擺加工方式,更好的實現(xiàn)工藝的多種需求。
超高精度
設(shè)備的加工精度高，截斷樣片的TTV均值30μm以內(nèi),遠(yuǎn)超同行業(yè)水平。
細(xì)線化控制
設(shè)備可以穩(wěn)定使用0.18mm金剛線，張力控制精準(zhǔn),細(xì)線化在料損上控制非常優(yōu)秀。
高級控制器
設(shè)備使用匯川最高級別的IS810系列控制器，配置高精度伺服電機13個。
減振設(shè)計
收放線系統(tǒng)排布在設(shè)備左右兩側(cè)，有效降低振動產(chǎn)生的影響，大幅度提升加工精度。
技術(shù)參數(shù)
| 加工料尺寸范圍 | Φ4~12英寸 / 100mm |
| 平均切割速度 | 0.3mm/min |
| 切割工藝設(shè)定步數(shù) | ≥30 步 |
| 鋼線張力 | 0~110N（0.25 線張力為 45N） |
| 鋼線線速 | 0~30m/s |
| 金剛線線徑 | ≥0.18mm |
| 切片 TTV | ≤30μm |
| 設(shè)備重量 | 5.5t |
| 水箱容積 | 110L |
| 設(shè)備尺寸（長 x 寬 x 高） | 2370x2256x2080mm |
| 設(shè)備總功率 | 50kW |
| 切割斷線率 | ≤1%（人為原因，硅料、線、維護等原因除外） |
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